მიკროარხის თბოგამცვლელი კომპონენტებისთვის ავტომატური ვაკუუმური ყუთის ჰელიუმის გაჟონვის დეტექტორი აქტიური ჰელიუმის გაწმენდით და წარმოების თვალთვალით
ეს მანქანა წარმოადგენს სპეციალურ მანქანას მიკროარხის თბოგამცვლელი კომპონენტების ვაკუუმური ყუთის ჰელიუმის მასის სპექტრის გაჟონვის აღმოსაჩენად. ეს მანქანა შედგება ევაკუაციის სისტემისგან, ვაკუუმური ყუთის გაჟონვის აღმოჩენის სისტემისგან, ჰელიუმის გამწმენდი სისტემისგან და ელექტრონული მართვის სისტემისგან. მანქანას აქვს აქტიური ჰელიუმის გამწმენდი ფუნქცია; მანქანას აქვს პროდუქტის წარმოების რაოდენობის, OK პროდუქტის რაოდენობის და NG პროდუქტის რაოდენობის ჩაწერის ფუნქცია.
| შემოწმებული სამუშაოების პროდუქტი | 4L |
| სამუშაო ნაწილის მაქსიმალური გარე ზომა | 770 მმ * 498 * 35 მმ |
| ვაკუუმური კამერის ზომა | 1100 (სიგრძე) 650 (სიღრმე) 350 (მაღალი) |
| კონტენტის პროდუქტი | 250 ლ |
| ვაკუუმური ყუთების რაოდენობა | 1 |
| სამუშაო ნაწილების რაოდენობა თითო ყუთში | 2 |
| სამუშაო ნაწილის შეყვანისა და გამოსვლის ყუთის რეჟიმი | ხელით შეყვანისა და გამოსვლის ვაკუუმური ყუთი |
| გააღე და დახურე კარი | გადასაფარებელი საფარის ტიპი |
| დიდი გაჟონვის წნევა | 4.2 მპა |
| ჰელიუმის შევსების წნევა | 3MPa-ს ავტომატურად რეგულირება შესაძლებელია |
| გაჟონვის გამოვლენის სიზუსტე | 2 გ/წელიწადში (△P=1.5MPa, R22) |
| ვაკუუმური ყუთის ევაკუაციის წნევა | 30 პა |
| ჰელიუმის გაზის აღდგენის სიჩქარე | 98% |
| ვაკუუმური ყუთის სატესტო სადგური (ორმაგი ყუთი) | 100 წმ/ერთ ყუთში (ხელით ჩატვირთვისა და გადმოტვირთვის დროის გამოკლებით). ყუთის ორივე მხარეს 2 სამუშაო შლანგით, |
| გაჟონვის სიჩქარის კონტროლის პარამეტრი (He) | მომხმარებლებს შეუძლიათ აირჩიონ პარამეტრების ჯგუფები ან შეცვალონ ისინი ეკრანზე საკუთარი პროცესის მოთხოვნების შესაბამისად. |
| დაფარვის არეალი | 3140 (სიგრძე) × 2500 (სიგანე) × 2100 (სიმაღლე) მმ |
| მოწყობილობის კვების წყარო | სამფაზიანი ცვლადი დენი 380V± 10% 50Hz |
| ინსტალაციის სიმძლავრე | 20 კვტ |
| შეკუმშული ჰაერის წნევა | 0.5-0.6 მპა |
| ნამის წერტილი | -10℃ |
| წნევით გაზი | შეკუმშული ჰაერი აზოტით 99.8%-ზე მეტი სისუფთავის ან ნამის წერტილი -40℃-ზე დაბალი; |
| წნევით გაზის წნევა | 5.5 მპა |